BPS-300微电子洁净泵

BPS-300微电子洁净泵

The Levitronix® BPS-300泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触，因此，不存在磨损，不会产生轴承磨损或密封件损坏。叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成，通过电子调节叶轮速度来精确控制流体流速和压力。

BPS-300微电子洁净泵

系统配置–“单机"

图7和图12显示了一个“即插即用"独立系统，该系统集成了用户面板和按钮，可手动设置速度。驱动器还包含一个PLC接口，用于通过模拟和数字信号进行远程速度控制。可提供各种附件，如带有相关电源线和信号线的台式电源，以连接到PLC。

系统配置–“EASYCONNECT"

带有相应电缆附件的“EasyConnect"型号（见图10和图14）旨在以最小的安装工作量实现各种接口配置。两个现场总线连接器（IN和OUT）允许设置多个泵的阵列。

因此，可以实现如图10所示的串联泵送配置。PLC接口不仅允许通过模拟/数字信号进行远程控制，还允许连接外部传感器，从而实现例如精确的流量或压力控制。

现场总线接口允许通过Modbus协议远程控制PC、用户面板或其他设备。为了增强电机和电缆连接器的化学保护，提供了保护连接器盖（见图19）。

系统配置–“OEM"

“OEM"型号设计用于一个集成驱动器电缆的紧凑集成，该电缆包含所有可用的接口信号

（见图8和图16）。基本上，“EasyConnect"型号的所有配置都是可能的，允许具有集成功能的用户根据自己的需要调整电缆。

带反馈传感器的过程控制

与外部传感器一起，如图8所示，可以控制或监测流量或压力等工艺参数。

BPS-i30泵系统结合LEVIFLOW®流量计可实现精确的超纯流量控制系统。Levitronix公司∇ 提供闭环流量控制的交钥匙解决方案或帮助设计您自己的流量控制系统。在CMP浆料、表面处理化学品、电镀溶液、超纯水和溶剂等流体方面取得了经验。Levitronix的多功能性∇ 流量控制系统远远超出了简单流量控制器的能力。除了流量控制功能外，Levitronix∇ 控制固件具有若干状态监测功能，以监测流体回路的完整性。Levitronix公司∇ 流量控制系统可以生成预防性过滤器更换、无流量条件或管线堵塞的警报。动态状态趋势（DCT）支持预防性维护的故障预测和调度（图6）。

ATEX/IECEx系统配置

ATEX/IECEx认证的驱动器（仅OEM型号）与泵头一起允许安装在ATEX 2区区域内（见图9）。电机电缆离开ATEX区域需要符合Ex的解决方案。一种选择是表3中列出的ATEX认证电缆密封系统（见位置12）。