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微电子湿制程应用超洁净无轴承泵

简要描述:微电子湿制程应用超洁净无轴承泵
最大流量:20 lpm / 5.3 gpm
最大压差:2 bar / 29 psi
最高液体温度:70° C / 158° F
湿料:PFA

  • 产品型号:Levitronix BPS-i100
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-11-25
  • 访  问  量:54

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详细介绍

微电子湿制程应用超洁净无轴承泵

The Levitronix® BPS-i100 泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。

叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。电机和泵控制器集成在驱动器外壳中,从而显着减少了占地面积。


微电子湿制程应用超洁净无轴承泵 应用

半导体湿法加工。

倒装芯片和高级封装。

太阳能电池生产。

平板显示器制造。

硬盘制造。

打印机墨水处理。

药物生产。

电镀。

液流电池的循环。

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