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BPS-i30 HP微电子无轴承泵
The Levitronix® BPS-i30 高压泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触，因此，不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。
叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。电机和泵控制器集成在驱动器外壳中，从而显着减少了占地面积。
BPS-i30 HP微电子无轴承泵 系统效益
由于没有机械接触部件，颗粒生成量极低。
增加设备正常运行时间。
通过消除阀门、轴承、旋转密封和昂贵的重建，降低维护成本。
集成成本非常低，因为速度或闭环控制不需要外部控制器。
由于磁性轴承的独立设计，减少了污染风险。
由于低剪切设计，对敏感流体非常温和。
没有可能截留颗粒或微生物的狭窄缝隙和裂缝。
平滑、连续流动，无压力脉动。
电子速度控制。
与气动和磁力驱动泵相比，设计紧凑。
医疗和半导体行业的成熟技术（MTBF>50年）。
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