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BPS-i30微电子泵

简要描述:BPS-i30微电子泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。

  • 产品型号:Levitronix
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-11-25
  • 访  问  量:41

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详细介绍

BPS-i30微电子泵

The Levitronix® BPS-i30 泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。
叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。电机和泵控制器集成在驱动器外壳中,从而显着减少了占地面积。

BPS-i30微电子泵

BPS-i30泵系统是一种革命性的离心泵,它没有轴承磨损或密封损坏。

基于磁悬浮原理,泵叶轮悬浮在密封外壳内,无接触,由电机磁场驱动(图1)。

叶轮和外壳均由耐化学腐蚀的高纯度氟碳树脂制成。它们与转子磁铁一起构成泵头。

控制器和电机集成在驱动器外壳中(见图2),因此布线工作量减少。流体流速和压力通过电子调节叶轮速度而无脉动地精确控制。

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