BPS-i30微电子泵

简要描述：BPS-i30微电子泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。

产品型号：Levitronix
厂商性质：代理商
更新时间：2022-11-25
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详细介绍

BPS-i30微电子泵

The Levitronix® BPS-i30 泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触，因此，不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。
叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。电机和泵控制器集成在驱动器外壳中，从而显着减少了占地面积。

BPS-i30微电子泵

BPS-i30泵系统是一种革命性的离心泵，它没有轴承磨损或密封损坏。

基于磁悬浮原理，泵叶轮悬浮在密封外壳内，无接触，由电机磁场驱动（图1）。

叶轮和外壳均由耐化学腐蚀的高纯度氟碳树脂制成。它们与转子磁铁一起构成泵头。

控制器和电机集成在驱动器外壳中（见图2），因此布线工作量减少。流体流速和压力通过电子调节叶轮速度而无脉动地精确控制。