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防静电超洁净溶剂应用微电子泵
Levitronix® BPS 防静电泵专门设计用于在微电子製程应用中对精密溶剂进行超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运动部件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。导电製程材料可选用不锈钢或添加了碳纤维的PTFE。
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