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微电子湿制程应用超洁净无轴承泵

简要描述:微电子湿制程应用超洁净无轴承泵,BPS泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。

  • 产品型号:Levitronix BPS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-11-25
  • 访  问  量:35

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详细介绍

微电子湿制程应用超洁净无轴承泵

Levitronix® BPS泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。

叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。通过电子调节叶轮转速进而精确控制流体流量和压力。

由于叶轮和泵头壳体之间没有机械耦合装置,不存在磨损,因此实质上不会有碎屑颗粒产生。

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Levitronix® 泵的液体接触表面面积要比同等输出功率的气动泵小好几倍。

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无机械轴承、窄缝、裂纹和死区,加上光滑湿润的塑性材料表面因此可以对敏感液体进行温和的输送或制程处理。

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开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理、以及无阀门设计带来无脉冲的流量,从而提高了超洁净过滤器的性能。

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微电子湿制程应用超洁净无轴承泵

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