BPS-300微电子洁净泵 最大流量：58 lpm / 15.3 gpm 最大压差：2.5 bar / 36.2 psi 最高液体温度：70° C / 158° F 湿料：PFA, PTFE

微电子无轴承泵 最大流量：21 lpm / 5.5 gpm 最大压差：2.6 bar / 37.7 psi 最高液体温度：90° C / 194° F 湿料：PFA, PTFE

微电子湿制程应用超洁净无轴承泵 最大流量：20 lpm / 5.3 gpm 最大压差：2 bar / 29 psi 最高液体温度：70° C / 158° F 湿料：PFA

BPS-i30 HP微电子无轴承泵 最大流量：3.8 lpm / 1 gpm 最大压差：2.8 bar / 40 psi 最高液体温度：70° C / 158° F 湿料：PTFE

BPS-i30 HF微电子无轴承泵 最大流量14.7 lpm / 3.9 gpm 最大压差1.1 bar / 16 psi 最高液体温度70° C / 158° F 湿料PTFE

BPS-i30微电子泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。